真空热处理炉的真空系统，一般由真空泵、真空阀门、真空测量仪表、冷阱、管道等部分组成，下面介绍几种常见的真空系统。
　　1，低真空系统，适用于真空度在2-1333Pa范围的真空热处理炉，如遇抽井式真空炉多采用这个系统。
　　2，具有机械增压泵的真空系统，适用于真空度在1.33-3×10的负1Pa范围的真空热处理炉，真空淬火炉广泛采用此系统。
　　3，高真空系统及带有增压泵的高真空系统，适用于真空度在1.3×10的负-2至6.6×10的负4Pa范围的真空热处理炉，真空退火炉、真空钎焊炉多采用此系统。